Untersuchungen der Elektronenemissionseigenschaften von mikrostrukturierten Metall Isolator Metall (MIM) Dünnschichtkathoden für die parallelprojizierende Elektronenstrahl Lithographie.
study of the electron emission properties of metal - insulator - metal (mim) thin layer cathodes for the parallel projective electron beam lithography
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Personal Name(s): | Benz, Reinhard. |
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Imprint: |
Tübingen :
Universität Tübingen,
1995.
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Physical Description: |
103 S. |
Note: |
deutsch |
Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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Open Stacks Call number: B 077076'01' Barcode: 1096102050 Available |