Wachstumsmechanismen bei der plasmagestuetzten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie.
growth mechanisms at the plasma supported separation of hydrocarbon layers, an in-situ ellipsometric study
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Personal Name(s): | Keudell, Achim von. |
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Imprint: |
Bayreuth :
Universitaet Bayreuth,
1996.
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Physical Description: |
93 S. |
Note: |
deutsch |
Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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Open Stacks Call number: B 077234'01' Barcode: 1096102436 Available |