Entwicklung der Anlagentechnik für grossflächige Abscheidung von dünnen Schichten aus amorphem Silizium und Siliziumverbindungen.
development of an industrial technique for large scale deposition of thin layers of amorphous silicon and silicon compounds
Saved in:
Personal Name(s): | Reuschling, R. |
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Mueller, B. | |
Imprint: |
Bonn :
Bundesministerium fuer Forschung und Technologie,
1992.
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Physical Description: |
90, 3 S. |
Note: |
deutsch |
Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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Open Stacks Call number: B 070393'01' Barcode: 1092102382 Available |