Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck.
epitaxial deposition of monocrystalline silicon at reduced total pressure
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Personal Name(s): | Krullmann, Eike. |
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Imprint: |
Aachen :
Technische Hochschule Aachen,
1981.
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Physical Description: |
II, 124 S. |
Subject (ZB): | |
Classification: |
ZB | |
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Open Stacks Call number: B 072124'01' Barcode: 1093103888 Available |