This title appears in the Scientific Report :
2013
Please use the identifier:
http://hdl.handle.net/2128/3625 in citations.
Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule
Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule
Diese Arbeit beschäftigte sich mit Aspekten der Herstellung von μc- Si:H Absorberschichten, die von hoher technologischer Relevanz für die industrielle Serienproduktion von mikromorphen Silizium-Dünnschichtsolarmodulen sind. Im Zentrum der durchgeführten Untersuchungen standen dabei a) die μc-Si:H A...
Saved in:
Personal Name(s): | Kilper, Thilo (Corresponding author) |
---|---|
Contributing Institute: |
Photovoltaik; IEF-5 |
Imprint: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich, Zentralbibliothek, Verlag
2009
|
Document Type: |
Book |
Series Title: |
Schriften des Forschungszentrums Jülich . Reihe Energie & Umwelt / Energy & Environment
37 |
Link: |
OpenAccess |
Publikationsportal JuSER |
Diese Arbeit beschäftigte sich mit Aspekten der Herstellung von μc- Si:H Absorberschichten, die von hoher technologischer Relevanz für die industrielle Serienproduktion von mikromorphen Silizium-Dünnschichtsolarmodulen sind. Im Zentrum der durchgeführten Untersuchungen standen dabei a) die μc-Si:H Absorberschicht-Abscheidungsrate, b) „Niedriggasfluss“-Prozesse, welche einen hohen Monosilan-Ausnutzungsgrad und einen deutlich reduzierten Wasserstoff-Verbrauch aufweisen und c) der Einfluss von Sauerstoff- und Stickstoff-Verunreinigungen in μc-Si:H Absorberschichten auf die Zellperformance. |