This title appears in the Scientific Report :
2013
Please use the identifier:
http://dx.doi.org/10.5162/11dss2013/F15 in citations.
Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion
Chemische Sensoren mit Bariumstrontiumtitanat als funktionale Schicht zur Multiparameterdetektion
Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem B...
Saved in:
Personal Name(s): | Huck, C. (Corresponding author) |
---|---|
Poghossian, A. / Bäcker, M. / Zander, W. / Schubert, J. / Sukoyan, L. H. / Begoyan, V. / Buniatyan, V. V. / Wagner, P. / Schöning, M. J. | |
Contributing Institute: |
Bioelektronik; PGI-8 Halbleiter-Nanoelektronik; PGI-9 Bioelektronik; ICS-8 JARA-FIT; JARA-FIT |
Imprint: |
AMA Service GmbH, P.O. Box 2352, 31506 Wunstorf, Germany
2013
|
Physical Description: |
368-372 |
DOI: |
10.5162/11dss2013/F15 |
Conference: | 11. Dresdner Sensor-Symposium, Dresden (Germany), 2013-12-09 - 2013-12-11 |
Document Type: |
Contribution to a conference proceedings |
Research Program: |
Physics of the Cell Sensorics and bioinspired systems |
Publikationsportal JuSER |
Die herausragenden multifunktionalen Materialeigenschaften und die große Vielfalt in der stöchiometrischen Zusammensetzung von Perowskit-Oxiden wie beispielsweise Bariumstrontiumtitanat (BST) haben großes Interesse bei der Herstellung von Chemo- und Biosensoren für Flüssigkeiten geweckt. In diesem Beitrag werden BST-Dünnfilme als funktionale Schicht für die Multiparameterbestimmung von pH-Wert, Elektrolytleitfähigkeit sowie für die Detektion von geladenen Makromolekülen verwendet. Zur pH-Wertmessung wurde ein kapazitiver Feldeffektsensor mit einer BST-Schicht als alternativem Gatematerial, zur Messung der Elektrolytleitfähigkeit und zur Detektion von geladenen Makromolekülen wurden Platin-Interdigitalelektroden (IDE) mit einer BST-Schicht als Isolatormaterial und funktionale Schicht verwendet. Die BST-Schichten wurden mittels gepulster Laserdeposition (PLD) auf die jeweiligen Sensorstrukturen abgeschieden. |