This title appears in the Scientific Report :
2002
Top contact for vertical double-gate MOSFETs
Top contact for vertical double-gate MOSFETs
Saved in:
Personal Name(s): | Moers, J. |
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Trellenkamp, S. / Goryll, M. / Marso, M. / van der Hart, A. / Hogg, S. / Mantl, S. / Kordos, P. / Lüth, H. | |
Contributing Institute: |
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 |
Published in: |
Materials for Advanced Metalization MAM2002 : Workshop |
Imprint: |
2002
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Conference: | Vaals (NL) 2002-03-03 |
Document Type: |
Poster |
Research Program: |
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik |
Publikationsportal JuSER |
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