von der Ahe, M., Gauer, D., Grimm, M., Hardtdegen, H. H., Wirtz, K., Lüth, H., & Kaluza, A. (1998). Optimierung der Schichtdickenhomogenität im Schichtsystem AlAs/GaAs in AUX-200-Reaktoren unter Verwendung von Stickstoff als Trägergas.

von der Ahe, M., D. Gauer, M. Grimm, H. H. Hardtdegen, K. Wirtz, H. Lüth, andfavorite A. Kaluza. Optimierung Der Schichtdickenhomogenität Im Schichtsystem AlAs/GaAs in AUX-200-Reaktoren Unter Verwendung Von Stickstoff Als Trägergas. 1998.

von der Ahe, M., et al. Optimierung Der Schichtdickenhomogenität Im Schichtsystem AlAs/GaAs in AUX-200-Reaktoren Unter Verwendung Von Stickstoff Als Trägergas. 1998.