This title appears in the Scientific Report :
2001
Kapazitive pH-Sensoren auf der Basis von makroporösem Silizium mit Doppelisolatorschicht aus thermisch oxidiertem SiO2 und LPCVD-Si3N4
Kapazitive pH-Sensoren auf der Basis von makroporösem Silizium mit Doppelisolatorschicht aus thermisch oxidiertem SiO2 und LPCVD-Si3N4
Saved in:
Personal Name(s): | Simonis, A. |
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Ruge, C. / Ecken, H. / Lüth, H. / Schöning, M. J. | |
Contributing Institute: |
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Bio- und Chemosensoren; ISG-2 |
Published in: |
2. BioSensor Symposium |
Imprint: |
2001
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Conference: | Tübingen 2001-04-01 |
Document Type: |
Talk (non-conference) |
Research Program: |
Ionen- und Lithographietechnik Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen Halbleiterbauelemente und Analytik |
Publikationsportal JuSER |
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