This title appears in the Scientific Report :
2001
Micro- und nanopatterning of sensor chips by means of macroporous silicon
Micro- und nanopatterning of sensor chips by means of macroporous silicon
Saved in:
Personal Name(s): | Kurowski, A. |
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Schultze, J. W. / Lüth, H. / Schöning, M. J. | |
Contributing Institute: |
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Bio- und Chemosensoren; ISG-2 |
Published in: |
Proceedings Transducers München. - 2001. - S. 640 |
Imprint: |
2001
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Document Type: |
Contribution to a book Contribution to a conference proceedings |
Research Program: |
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen Halbleiterbauelemente und Analytik |
Publikationsportal JuSER |
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