This title appears in the Scientific Report :
2003
Chemical Vapor Deposition
Chemical Vapor Deposition
Saved in:
Personal Name(s): | Hardtdegen, H. |
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Contributing Institute: |
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 |
Published in: |
Fundamentals of Nanoelectronics : 34th IFF Spring School ; Research Center Jülich |
Imprint: |
2003
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Conference: | Jülich 2003-03-10 |
Document Type: |
Talk (non-conference) |
Research Program: |
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik |
Publikationsportal JuSER |
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