1
Plasmainduzierte Abscheidung von amorphem Silicium aus Silan : vom Verständnis der chemischen Reaktionsmechanismen zur Abscheidung von hochwertigem amorphen Silicium mit grossen Depositionsraten /
Book
2
E.C. Photovoltaic Solar Energy Conference. 11 : proceedings of the international conference, held at Montreux, Switzerland, 12-16 October 1992 /
Book
3
Abscheidung von amorphem Silizium (a-Si:H) aus an einem heißen Blech zersetztem Silan [E-Book] /