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Vergleichende Untersuchungen der Kristallperfektion dünner heteroepitaktischer Wolfram Einkristallschichten mit unterschiedlichem Mosaik Spread mittels MEV H hoch plus- und He hoch plus Rutherford-Ionenrückstreuung, Röntgen-Zweikristall-Diffraktometrie und Transmissions-Elektronenmikroskopie [E-Book] /