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Entwurf, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Sensors zur Messung von Drehgeschwindigkeiten /
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“...TBWA - Sensors (technical and physical)...”
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Mikrosensorik : eine Einführung in Technologie und physikalische Wirkungsprinzipien von Mikrosensoren.
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Elbel, T.
1996
“...TBWA - Sensors (technical and physical)...”
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3
Internationale Fachmesse mit Kongress für Sensorik und Systemtechnik 0006 : Proceedings Vol 0005 : Sensor 1993 : Proceedings Vol 0005 : Nürnberg, 11.10.93-14.10.93.
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Durst, F.
1993
“...TBWA - Sensors (technical and physical)...”
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