Research Program
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
191
Halbleiterbauelemente und Analytik
169
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
167
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
113
Ionen- und Lithographietechnik
20
Ionentechnik
18
ohne FE
11
Festkörperforschung für die Informationstechnik
8
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
7
Umweltprobenbank
6
Grundlagen und Technologie von Dünnschichtsolarzellen
4
Struktur und Dynamik der Grenzflächen
2
Zelluläre Signalverarbeitung
2
Kondensierte Materie
1
Photovoltaik
1