Research Program
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
215
Ionen- und Lithographietechnik
21
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
21
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
20
Halbleiterbauelemente und Analytik
20
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
13
Ionentechnik
3