Research Program
Ionentechnik
21
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
7
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
6
Photovoltaik
2
Grundlagen und Technologie von Dünnschichtsolarzellen
1
Halbleiterbauelemente und Analytik
1
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
1