Contributing Institute
Center of Nanoelectronic Systems for Information Technology; CNI
68
Halbleiter-Nanoelektronik; IBN-1
54
Halbleiter-Nanoelektronik; PGI-9
20
Institut für Bio- und Chemosensoren; ISG-2
4
Institut für Bio- und Nanosysteme - Bioelektronik; IBN-2
1
Institut für Grenzflächen und Vakuumtechnologien; ISG-3
1
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1
34
JARA-FIT; JARA-FIT
47
Prozesstechnologie; IBN-PT
1
Zentralabteilung für Chemische Analysen; ZCH
8