Research Program
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
Halbleiterbauelemente und Analytik
60
Ionen- und Lithographietechnik
19
Ionentechnik
16
Festkörperforschung für die Informationstechnik
3
Struktur und Dynamik der Grenzflächen
2
Grundlagen und Technologie von Dünnschichtsolarzellen
1
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
1
Umweltprobenbank
1