Contributing Institute
Elektronische Materialien; IFF-IEM
Center of Nanoelectronic Systems for Information Technology; CNI
46
JARA-FIT; JARA-FIT
6
Institut für Bio- und Chemosensoren; ISG-2
4
Mikrostrukturforschung; IFF-IMF
4
Institut für Grenzflächen und Vakuumtechnologien; ISG-3
2
Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1
1
Wissenschaftlich-Technische Planung; WTP
1
Zentralabteilung für Chemische Analysen; ZCH
1