Research Program
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
24
Ionentechnik
19
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
11
Halbleiterbauelemente und Analytik
8
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
8
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
5
Ionen- und Lithographietechnik
1