Research Program
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
199
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
41
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
21
Ionentechnik
10
Halbleiterbauelemente und Analytik
8
Kondensierte Materie
8
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
5
Ionen- und Lithographietechnik
3
Detektoren, Signal- und Bildverarbeitung für Neutronen-, Gamma- und Röntgenstrahlung
1
Festkörperforschung für die Informationstechnik
1
Umweltprobenbank
1