Research Program
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
30
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
27
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
11
Ionentechnik
9
BioSoft: Makromolekulare Systeme und biologische Informationsverarbeitung
6
ohne FE
4
Ionen- und Lithographietechnik
1