Research Program
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
518
Grundlagen für zukünftige Informationstechnologien
182
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
132
Halbleiterbauelemente und Analytik
93
Ionentechnik
85
Ionen- und Lithographietechnik
29
Kondensierte Materie
25
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
18
Grundlagen und Technologie von Dünnschichtsolarzellen
9
Photovoltaik
7
Festkörperforschung für die Informationstechnik
5
Umweltprobenbank
2
Chemie und Dynamik der Geo-Biosphäre
1
Erneuerbare Energien
1
Struktur und Dynamik von Grenzflächen
1