Research Program
Halbleiterschichtsysteme und Mesoskopische Strukturen
130
Halbleiterbauelemente und Analytik
93
Ionentechnik
85
Ionen- und Lithographietechnik
29
Schichtsysteme und Bauelemente der Supraleiterelektronik
18
Grundlagen und Technologie von Dünnschichtsolarzellen
9
Festkörperforschung für die Informationstechnik
5
Umweltprobenbank
2
Materialien, Prozesse und Bauelemente für die Mikro- und Nanoelektronik
1
Struktur und Dynamik von Grenzflächen
1