1
Instruments, 5 (2021) 1, S. 10 -
...Plasmaphysik; IEK-4 Plasmaphysik...
Get full text  OpenAccess 
2
3
Haas, F.
2018
Semiconductor science and technology, 33 (2018) 6, S. 064001 -
...Plasmaphysik; IEK-4 Plasmaphysik...
4
5
6
7
8