Les theories et processus dans le milieu plasma pour le depot, la gravure et la polymerisation: sommaire : Colloque international sur les plasmas pour les depots et la gravure seche : Antibes, 05.06.89.
Saved in:
Personal Name(s): | Turban, G., Mitarb. |
---|---|
Imprint: |
Paris :
Societe Francaise du Vide,
1989.
|
Physical Description: |
GETR. PAG. |
Note: |
sonstige |
Subject (ZB): | |
Classification: |
LEADER | 00878nam a2200229 n 4500 | ||
---|---|---|---|
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