Quantitative Augerelektronenspektroskopie zur Tiefenprofilanalyse von Schichtsystemen am Beispiel von Silizium nach Nickelimplantation / A. Schoenborn
quantitative auger electron spectroscopy for depth profiling of implanted nickel in silicon
Saved in:
| Personal Name(s): | Schoenborn, A. |
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| Imprint: |
Düsseldorf :
VDI-Verl.,
1991
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| Physical Description: |
134 S. |
| Note: |
deutsch |
| ISBN: |
3181435058 9783181435052 |
| Series Title: |
Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 5. Grund- und Werkstoffe ;
235 |
| Subject (ZB): | |
| Classification: |
| ZB | |
|---|---|
Open Stacks  Call Number: S 000173-0235'01' Barcode: 1093100664
Available
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