Einfluß von Passivierung und von Legierungszusätzen auf die thermischen Spannungen von Leiterbahnen in integrierten Schaltkreisen [E-Book] / Heiko Nielen
Saved in:
Full text JuSER |
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Personal Name(s): | Nielen, Heiko, author |
Imprint: |
Jülich :
Forschungszentrum, Zentralbibliothek,
1998
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Physical Description: |
1 Online-Ressource (V, 133 Seiten) |
Note: |
deutsch |
Series Title: |
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Berichte des Forschungszentrums Jülich ;
3601 |
Dissertation Note: |
Zugleich: Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 1998
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Keywords: |
thermal stress in passivated aluminum interconnects of integrated cicuits dependence on alloy composition, passivation material and geometry |
Subject (ZB): | |
Classification: |
Description not available. |