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Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule [E-Book] /
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Großflächige Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium für mikromorphe Dünnschichtsolarmodule /
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Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium : Merkmale und Mikrostruktur und deren Deutung im Sinne von Wachstumsvorgängen [E-Book] /
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Plasmagestützte Abscheidung und Charakterisierung von dünnen mehrphasigen Schichten [E-Book] /
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Prozeßuntersuchung eines innovativen Plasmaverfahrens zur Herstellung funktionell gradierter Metall-Nichtmetall-Schichten [E-Book] /
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Reaktives Plasmaspritzen in kontrollierter Stickstoffatmosphäre zur Herstellung nitridhaltiger Beschichtungen [E-Book] /
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Plasmainduzierte Abscheidung von amorphem Silicium aus Silan : vom Verständnis der chemischen Reaktionsmechanismen zur Abscheidung von hochwertigem amorphen Silicium mit grossen Depositionsraten /
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