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Herstellung dünner YBa2Cu3O(7-delta) Schichten durch getaktete Elektronenstrahlverdampfung im ECR Plasma.
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...FGK - Thin film technology, epitaxy...
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Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen.
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