Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen.
vacuum deposition - applications
Saved in:
| Personal Name(s): | Kienel, G., editor |
|---|---|
| Imprint: |
Düsseldorf :
VDI Verl.,
1993.
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| Physical Description: |
XI, 383 S. |
| Note: |
deutsch |
| ISBN: |
9783184013141 3184013146 |
| Series Title: |
Vakuumbeschichtung ;
Vol 0004. |
| Keywords: |
micromechanics |
| Subject (ZB): | |
| Classification: | |
| Shelf Classification: |
| ZB | |
|---|---|
Reading Room  Call Number: FGK 114-04 Barcode: 1096101500
Available
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