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Vakuumbeschichtung Vol 0003: Anlagenautomatisierung, Messtechnik und Analysentechnik.
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Kienel, G.
1994
...FGK - Thin film technology, epitaxy...
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Vakuumbeschichtung Vol 0004: Anwendungen Vol 0001: Vergleich der verwendeten Verfahren, elektrische Widerstandsschichten, supraleitende Schichten, dünne Schichten für Optik, Mikroelektronik, Optoelektronik, Mikromechanik, Solarzellen.
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Vakuumbeschichtung Vol 0005: Anwendungen Vol 0002: funktionelle und dekorative Schichten auf Glas, Kunststoff, Papier und Metallen, Tribologie, Korrosionsschutz, Informationspeicherung, CVD Anwendungen.
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