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Advances in thin films, nanostructured materials, and coatings : selected papers from the 2018 International Conference on "Nanomaterials: Applications & Properties" /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Handbook of Thin-Film Technology [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputtering...”

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Sputtering materials for VLSI and thin film devices [E-Book] /
Subject (ZB): “...Sputtering (Physics)...”

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Entwicklung und Herstellung von metallgestützten Festelektrolyt-Brennstoffzellen mit Hilfe des Hohlkathoden-Gasflusssputterns /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Entwicklung und Herstellung von metallgestützten Festelektrolyt-Brennstoffzellen mit Hilfe des Hohlkathoden-Gasflusssputterns [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputtering...”

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Handbook of sputter deposition technology [E-Book] : fundamentals and applications for functional thin films, nano-materials and MEMS /
Subject (ZB): “...Cathode sputtering (Plating process) Handbooks, manuals, etc....”

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Herstellung von Hochtemperatur-Brennstoffzellen über physikalische Gasphasenabscheidung /
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Subject (ZB): “...sputter deposition...”
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Herstellung von Hochtemperatur-Brennstoffzellen über physikalische Gasphasenabscheidung [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputter deposition...”

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Seltenerd-basierte ternäre Oxide als alternative Gatedielektrika /
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Subject (ZB): “...sputter deposition...”
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Reactive sputter deposition /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Seltenerd-basierte ternäre Oxide als alternative Gatedielektrika [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputter deposition...”

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Sputtering by particle bombardment : experiments and computer calculations from threshold to MeV energies /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxid-Schichten für Silizium-Dünnschichtsolarzellen /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxid-Schichten für Silizium-Dünnschichtsolarzellen [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputtering...”

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Sputtering of indium under polyatomic ion bombardment [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputtering...”

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Transportphänomene in magnetischen Tunnelkontakten unter besonderer Berücksichtigung der Ionenstrahlsputterdeposition [E-Book] /
Subject (ZB): “...sputtering...”

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Physical vapor deposition of thin films /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Low-energy ion irradiation of solid surfaces /
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Subject (ZB): “...sputtering...”
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Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau /
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Modeling of film deposition for microelectronic applications.
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Subject (ZB): “...sputter deposition...”
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