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...Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente...
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...Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente; ISG-1 Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente...
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Buchal, C.
2000
Materials science in semiconductor processing, 3 (2000) S. 399
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