Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen : Verbundprojekt 1989 - 1991: Abschlussbericht.
Saved in:
| Imprint: |
Teltow :
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik,
1993.
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| Physical Description: |
205 S. |
| Note: |
deutsch |
| Series Title: |
Innovationen in der Mikrosystemtechnik ;
Vol 0001. |
| Subject (ZB): | |
| Classification: |
| ZB | |
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Open Stacks  Call Number: B 073880'01'-001 Barcode: 1094103847
Available
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