Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen : Verbundprojekt 1989 - 1991: Abschlussbericht.
Saved in:
Imprint: |
Teltow :
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik,
1993.
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Physical Description: |
205 S. |
Note: |
deutsch |
Series Title: |
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Innovationen in der Mikrosystemtechnik ;
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