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Auswirkungen des Abbremsvorganges von Ionen in dünnen Schichten untersucht mittels KARMA am Beispiel der Hochdosisionenimplantation, der Dosisabhängigkeit der Zerstäubungsausbeute und der Verbreiterung von Grenzschichten : KARMA: kombinierte Auger-Röntgen-Mikroanalyse [E-Book] /

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Experimente zur Herstellung von Nb3Sn, Nb3Ge und Nb3Si durch Ionenimplantation [E-Book] /

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Experimente zur Strahlaufweitung [E-Book] /

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Herstellung und Wachstum einkristalliner Si/CoSi2/Si-Heterostrukturen nach Hochdosis-Ionenimplantation [E-Book] /

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