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Aufbau einer Molekularstrahlepitaxie-Anlage zur Herstellung von CoSi2/Si-Heterostrukturen und in Silizium vergrabener SiOx-Schichten sowie Charakterisierung dieser Schichtsysteme [E-Book] /
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Epitaktische Abscheidung von monokristallinem Silizium bei reduziertem Totaldruck.
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Epitaktisches Wachstum des Hochtemperatursupraleiters YBa2Cu3O(7-x) auf Siliziumeinkristallen mit Pufferschichten [E-Book] /
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Molekularstrahlepitaxie von Eisensilizidschichten aus gasförmigen Quellen auf Si(100) und Si(111) [E-Book] /
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Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie durch plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase /
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6
Silicon epitaxy /
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