1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Microelectronic engineering, 67-68 (2003) S. 376 - 380
11
Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 38 (2003) S. 5
12
13
14
15
16
17
18
Moers, J.
2002
Microelectronic engineering, 64 (2002) S. 465 - 471
19
20