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1
Gu, C. Z.
2000
2000
Journal of applied physics, 87 (2000) S. 1743
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”OpenAccess
2
Zhao, Q. T.
2000
2000
Nuclear instruments & methods in physics research / B, 164-165 (2000) S. 1004
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”
3
Buchal, C.
2000
2000
Journal of vacuum science & technology / A, 18 (2000) S. 630
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”
4
Winnerl, S.
2000
2000
5
Löken, M.
2000
2000
6
Zhao, Q. T.
2000
2000
Microelectronic engineering, 50 (2000) S. 133
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”
7
Kluth, P.
2000
2000
8
Kluth, P.
2000
2000
9
The influence of an epitaxial CoSi2 layer on diffusion of B and Sb in underlying Si during oxidation
Tyagi, A. K.
1999
1999
Fresenius' journal of analytical chemistry, 365 (1999) S. 282 - 285
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”
10
Mantl, S.
1999
1999
11
Löken, M.
1999
1999
12
Kappius, L.
1999
1999
Thin solid films, 336 (1999) S. 26
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”
13
Kappius, L.
1999
1999
14
Löken, M.
1999
1999
15
Buchal, C.
1999
1999
16
Tyagi, A. K.
1999
1999
Journal of applied physics, 85 (1999) S. 7639
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”OpenAccess OpenAccess
17
Zhao, Q. T.
1999
1999
18
Zhao, Q. T.
1999
1999
19
Zhao, Q. T.
1999
1999
20
Zhao, Q. T.
1999
1999
Applied physics letters, 74 (1999) S. 454 - 456
“...Institut für Schicht- und Ionentechnik; ISI Institut für Schicht- und Ionentechnik...”OpenAccess OpenAccess